사업부 및 제품소개
반도체 및 기타 제조용 Gas 공급 장치에서 Process Chamber 등의 Gas Line의 청정 및 안정성을 유지하며, 정밀 시공하는데 그 목적이 있다.
- Process Gas Line installation
- Toxic Gas Line Installation
- Quality Control
진공펌프배관 또는 배기배관 등 공정에 필요한 배관을 맞춤, 제작함.
- Vacuum Equipment
- Pumping Line
- Plant Piping
- Exhaust Line
Compressor에서 압축된 공기에는 수분, 분진, 오일 등이 다량으로 함유되어 있으며 이러한 오염물질의 제거하여 생산 설비에서 요구하는 사양으로 공급함.
- Air cooler
- Filter
- Air dryer
- Coalescent filter
Cooling water로 공정장비 및 기타설비에 고온이나 과열로 인해 문제가 발생할 수 있는 부분에 공급하는 System.
- Supply & Return Line
- Heat exchanger