사업부 및 제품소개
Gas system 사업부
- Gas supply system
- VMB/VMP/GMS
- GAS JUNGLE BOX
PROCESS GAS SUPPLY SYSTEM (Gas Cabinet & BSGS, etc…)
Process 공정에 사용되어지는 Gas로 대부분 Toxic Gas이고 초고순도 가스가 요구되므로 이에 만족할 수 있는 Gas cabinet을 이용하여 공급함.
* 주문사항에 따라 변동됨.
BENEFITS
- 설치공간 및 안전을 고려한 최상의 디자인
- TOUCH SCREEN 을 혼용한 사용의 편리성
- INTERLOCK SYSTEM
FUNCTION
- Cylinder Weight & Pressure Display & Check
- P-N2 Pressure Display & Check
- G-N2 & Vacuum Pressure Display & Check
- Temperature Control (High Limit) & Display
- Password
- Process/Purge/Manual Mode
GAS DISTRIBUTION SYSTEM (VMB / VMP, etc..)
VMB / VMP 모델은 고압가스용기에 충전된 특수가스를 일정한 압력으로 안전한 상태에서 원료가스의 순도를 유지하며 반도체 제조설비에 공급하고 OPERATING PANEL의 SWITCH에 의한 PROCESS, PURGE, PT CONTROLLER 에 의한 경보 등 사용자가 편리하게 사용할 수 있도록 구성하였다.
| DIMENSION | 800(W) × 450(D) × 1200(H) |
|---|---|
| WEIGHT | 100KG |
| POWER | AC220V 20A 60Hz |
| UTILITY |
- EXHAUST : SUS 101.6mm - VENT : 12.7mm - P-N2 : 6.35mm 7K 0.7MPa - PROCESS : 6.35mm - AIR : 6.35mm or 6Φ |
GAS JUNGLE BOX
공정(반도체, LCD, Solar cell, LED) 장비 등에 장착 되는 핵심 모듈로서 공정 Gas를 정밀하게 공급 조절 하는 장치로서 고객 요구에 맞춤 제작 공급
